กรณี บริษัท ล่าสุดเกี่ยวกับ Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. การรับรอง

เทคโนโลยีควบคุมระบบ MAU + FFU + DCC ในห้องสะอาด

2024-12-12

ในอุตสาหกรรมระดับสูง เช่น การผลิตครึ่งตัวนํา สาขาชีววิทยา และอิเล็กทรอนิกส์ความแม่นยําการควบคุมปริมาตรสิ่งแวดล้อมในห้องสะอาดมีผลต่อคุณภาพของผลิตภัณฑ์และความน่าเชื่อถือของผลการวิจัยวิทยาศาสตร์ระบบ MAU (Make-up Air Unit) + FFU (Fan Filter Unit) + DCC (Dry Coil Unit) เป็นวิธีการทําความสะอาดอากาศหลักสําหรับห้องสะอาดได้กลายเป็นตัวช่วยสําคัญในการบรรลุสภาพแวดล้อมที่สะอาดอย่างเข้มงวด เนื่องจากคุณสมบัติการควบคุมที่ยืดหยุ่นและมีประสิทธิภาพบทความนี้จะดําเนินการในเทคโนโลยีการควบคุมหลักของระบบนี้ และเปิดเผยว่ามันสร้างพื้นที่ที่สะอาดที่มั่นคงและแม่นยําผ่านการปฏิบัติงานร่วมกันหลายมิติอย่างไร
I. ภาพรวมของระบบ MAU + FFU + DCC
ระบบ MAU + FFU + DCC เป็นระบบการรักษาอากาศและการไหลเวียนอากาศที่บูรณาการ โดยที่ส่วนประกอบแต่ละส่วนดําเนินหน้าที่เฉพาะเจาะจงของตนโดยร่วมมือกันอย่างต่อเนื่อง:
MAUผิดชอบในการปรุงปรุงลมสดก่อน, รวมถึงการปรับอุณหภูมิและความชื้น, การกรองพื้นฐานและการให้ลมสด;
FFUเป็นแกนหลักของการทําความสะอาดระยะปลาย, รับประกันการควบคุมอนุภาคในพื้นที่ที่สะอาดด้วยการกรองที่มีประสิทธิภาพสูงและการให้อากาศในทิศทาง;
DCCกําหนดความร้อนในภายในอย่างแม่นยํา เพื่อรักษาความเท่าเทียมกันของสนามอุณหภูมิ
This architecture of "fresh air preprocessing + end-stage purification + sensible heat fine-tuning" not only meets the cleanroom's demand for fresh air but also achieves refined management of environmental parameters through hierarchical control, ซึ่งมีประสิทธิภาพการใช้พลังงานที่ดีกว่าและความยืดหยุ่นเมื่อเทียบกับระบบปรับอากาศกลางดั้งเดิม

II จุดสําคัญของการควบคุมระบบ
(I) การควบคุมอุณหภูมิ: การกําหนดความแม่นยําผ่านการร่วมมือหลายโมดูล
อุณหภูมิอัตราแปรปรวนเป็นปัจจัยสําคัญที่ส่งผลต่อการผลิตความแม่นยํา1 °C อาจทําให้มีการเบี่ยงเบนในการถ่ายทอดรูปแบบชิประบบ MAU + FFU + DCC ประสบความแม่นยําในการควบคุมอุณหภูมิระดับไมโครผ่านการควบคุมร่วมกัน 3 ระดับ
การควบคุมอุณหภูมิพื้นฐานโดย MAUใช้พีไอดีอัลการิทึมที่ปรับตัวเพื่อปรับการไดนามิคของกระแสน้ําหรือกระแสสารเย็นของเครื่องอบอุ่น / เครื่องเย็นบนพื้นฐานของการตอบสนองอากาศในเวลาจริงในห้องสะอาดปรับความร้อนของอากาศสดให้มั่นคงภายในช่วงที่กําหนดไว้ (ปกติจะมีความแม่นยํา ± 0.5 °C)
การควบคุมโดยตรงของ FFU:แม้ว่ามันจะไม่เกี่ยวข้องกับการควบคุมอุณหภูมิโดยตรง แต่การกระจายปริมาณอากาศของมันจะส่งผลกระทบต่อการจัดระเบียบการไหลของอากาศภายในห้องโดยปรับปรุงการวางแผน FFU (เช่นการจัดวางแบบเรียบร้อยแบบเมทริกซ์) และการตั้งค่าความเร็วลม (โดยทั่วไป 0.3-0.5m/s) สามารถลดระดับอุณหภูมิภายในพื้นที่ได้
การชดเชยความร้อนที่เหมาะสมโดย DCC:การเป้าหมายแหล่งความร้อนท้องถิ่นที่เกิดจากการทํางานของอุปกรณ์ (เช่น เครื่องฉีดผงและเครื่องปฏิกิริยาชีวภาพ) การชําระความร้อนในเวลาจริงของภาระความร้อนที่เข้าใจได้โดยการปรับการไหลของน้ําเย็นให้แน่ใจว่าความผิดพลาดความเหมือนกันของอุณหภูมิในพื้นที่สะอาด ≤±0.2 °C
กรณีการใช้งาน:ในห้างสรรพสินค้าลิโตกราฟีของโรงงานผลิตวอลเฟอร์ขนาด 12 นิ้ว ผ่านการควบคุมการเชื่อมโยงของ MAU และ DCC การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิถูกจํากัดอย่างเข้มงวดภายใน ± 0.1 °C ปรับปรุงผลิตชิปโดยประมาณ 3%
(II) การควบคุมความชื้น: การสมดุลการป้องกันการหมักและความมั่นคงของกระบวนการ
ความชื้นสูงอาจทําให้อุปกรณ์เกรด ขณะที่ความชื้นต่ําอาจนําไปสู่ไฟฟ้าสติก ต้องการการควบคุมความชื้นเพื่อสมดุลความต้องการกระบวนการและการป้องกันอุปกรณ์
ปฏิบัติการปรับหลักของ MAU:รวมโหลดปรับความชื้นด้วยควาย/อิเล็กทรอนด์ และโหลดปรับความชื้นโดยการหมุน/หมุน โดยเปลี่ยนโหมดโดยอัตโนมัติตามความชื้นในเวลาจริง (มีความแม่นยํา ± 2% RH) เช่นในโรงงานผลิตภัณฑ์ความชื้นของยาต้องคงที่ 30-40% RH เพื่อป้องกันการดูดซึมของยา
การกระจายแบบชุดช่วยตาม FFU:กําจัดพื้นที่ที่มีความชื้นสูงในท้องถิ่นผ่านการไหลเวียนของอากาศ โดยเฉพาะในพื้นที่มุมของห้องสะอาด เพื่อป้องกันการเติบโตของจุลินทรีย์ที่เกิดจากความชื้นที่ไม่เท่าเทียมกัน
โลจิกการควบคุมการเชื่อมโยง:เมื่อ MAU สังเกตว่าความชุ่มชื้นห่างจากค่าที่ตั้ง มันจะปรับความชุ่มชื้นของอากาศสดและ DCC จะร่วมมือกันเพื่อลดอุณหภูมิผิวโค้ล (จําเป็นต้องสูงกว่าจุดฝน 1-2 °C เพื่อป้องกันการหมัก), สร้างการควบคุมวงจรปิด
(III) การจัดการความสะอาด: การกรองกระบวนการทั้งหมดจากแหล่งถึงปลาย
ความสะอาดเป็นตัวชี้วัดหลักของห้องสะอาด ซึ่งจําเป็นต้องบรรลุผ่านการกรองแบบเรียงลําดับและการจัดระเบียบการไหลของอากาศ
การปรุงปรุงก่อนโดย MAU:ใช้เครื่องกรองประสิทธิภาพกลาง G4 และ F8 เพื่อจับอนุภาค PM10 ขึ้นไปในอากาศสะอาด ลดภาระในการกรองระยะสุดท้าย
การชําระระยะสุดท้ายโดย FFU:มีเครื่องกรอง HEPA (ประสิทธิภาพการกรอง ≥99.97% สําหรับอนุภาค 0.3μm) หรือ ULPA (ประสิทธิภาพการกรอง ≥99.999% สําหรับอนุภาค 0.12μm)การรับรองว่าอากาศที่ส่งไปยังพื้นที่ที่สะอาดตรงกับมาตรฐาน ISO ชั้น 5 (ชั้น 100) หรือสูงกว่า;
การปรับปรุงการจัดระเบียบการไหลของอากาศรูปแบบการไหลเวอร์กติกในทิศทางเดียวผ่านการจัดตั้งแบบเรียบร้อยของ FFU (อัตราการครอบคลุมมักจะ 60-100%) "กดออก" สารปนเปื้อนจากพื้นที่สะอาดและร่วมมือกับการออกแบบช่องออกอากาศกลับเพื่อบรรลุ "ผลของพิสตัน" และหลีกเลี่ยงพื้นที่ตายของการไหลอากาศ.
อ้างอิงข้อมูล: ในห้องสะอาดชิปอิเล็กทรอนิกส์ เมื่อความเร็วลมในการทํางานของ FFU ได้คงที่ 0.45m/s จํานวนอนุภาค ≥ 05μm ในแต่ละฟุตสามเหลี่ยมของอากาศสามารถควบคุมได้ต่ํากว่า 35 (ตอบสนองมาตรฐาน ISO Class 5).
(IV) การควบคุมความดัน ป้องกันการติดเชื้อข้าม
ภาวะความดันเป็นแกนหลักในการรักษา "การไหลเวียนแบบหนึ่งทิศทาง" ระหว่างพื้นที่สะอาดและภายนอก รวมถึงระหว่างพื้นที่ที่มีระดับความสะอาดที่แตกต่างกัน
การปรับปริมาณอากาศสดโดย MAUการติดตามความแตกต่างความดันในเวลาจริงระหว่างพื้นที่ที่สะอาดและที่ไม่สะอาด (โดยทั่วไป 10-30Pa) ผ่านเครื่องตรวจความดันความแตกต่างและปรับปริมาณอากาศสดอย่างไดนามิค โดยเชื่อมโยงกับแฟนความถี่ที่เปลี่ยนแปลง เพื่อให้มีสภาพแวดล้อมความดันบวก (ป้องกันการรบกวนจากภายนอก);
การออกแบบความดันแบบเรียงลําดับA pressure difference of 5-10Pa needs to be set between areas with different cleanliness levels (such as ISO Class 5 and ISO Class 7) to avoid air from low-cleanliness areas entering high-cleanliness areas;
อุปกรณ์ป้องกันฉุกเฉินเมื่อความแตกต่างความดันต่ํากว่าขั้นต่ําที่กําหนด ระบบจะเปิดสัญญาณเตือนเสียงและภาพโดยอัตโนมัติ และเปิดพัดลมสํารองเพื่อรักษาความดันการป้องกันการหยุดการผลิต.
III. การนําเทคโนโลยีควบคุมที่ฉลาดมาใช้อย่างลึกซึ้ง
การควบคุมห้องสะอาดแบบดั้งเดิมพึ่งพาการตรวจสอบและการปรับด้วยมือ ซึ่งยากที่จะรับมือกับการเปลี่ยนแปลงภาระแบบไดนามิกระบบ MAU + FFU + DCC ประสบความสําเร็จการบริหารจัดการที่แม่นยํา "โดยไม่มีคนขับ":
แพลตฟอร์มการติดตามกลางซึ่งใช้ระบบ PLC หรือ DCS รวมตัวปริมาตรมากกว่า 30 ปริมาตร เช่น อุณหภูมิและความชื้นของ MAU สถานการณ์การทํางานของ FFU และการไหลของน้ํา DCC เข้าในอินเตอร์เฟซ HMIการสนับสนุนการแสดงภาพข้อมูลในเวลาจริง และการสอบถามเส้นโค้งประวัติศาสตร์;
อัลกอริทึมปรับตัวปรับตัวเมื่อตรวจจับการเริ่มต้นหรือหยุดเครื่องมือการผลิต (เช่นการเพิ่มความร้อนอย่างฉับพลันที่เกิดจากการเริ่มต้นของเครื่องเครื่องฉีดครึ่งประสาท)ระบบสามารถปรับกระแสสอย MAU และผลิต DCC ได้โดยอัตโนมัติภายใน 10 วินาทีเพื่อรักษาความมั่นคงของปารามิเตอร์;
การบํารุงรักษาแบบคาดการณ์โดยการวิเคราะห์ข้อมูล เช่น กระแสไฟฟัน FFU และความดันความแตกต่างของกรอง, การเตือนก่อนการล้มเหลวของอุปกรณ์ (เช่นการปิดกรองและการแก่ตัวของเครื่องยนต์) สามารถป้องกันการปิดทันที;
การปรับปรุงการใช้พลังงาน:การนําอัลการิทึม AI มาใช้ในการผสมผสานปริมาณอากาศสะอาดกับภาระภายในอย่างไดนามิก ช่วยประหยัดพลังงาน 20-30% เมื่อเทียบกับระบบประเพณีซึ่งเหมาะสําหรับการใช้งานระยะยาวของห้องสะอาดขนาดใหญ่.
IV. การใช้งานและการปรับปรุงระบบ: ขั้นตอนสําคัญจากคุณสมบัติสู่ความเป็นเลิศ
ระบบ MAU + FFU + DCC ที่มีคุณภาพสูงต้องการขั้นตอนการใช้งานที่เข้มงวดเพื่อให้ได้ผลงานที่ดีที่สุด:
การใช้งานเครื่องจักรเดียว
ม.อ.ระยะแปลงความถี่ของพัดลมทดสอบ (โดยทั่วไป 30-100Hz) ความต้านทานของกรองเริ่มต้น (ควร ≤ 10% ของค่าออกแบบ) และความเร็วการตอบสนองในการปรับอุณหภูมิและความชื้น
FFU:ตรวจสอบหน่วยแต่ละหน่วยให้เห็นถึงความเรียบร้อยของความเร็วลม (ความเบี่ยงเบน ≤ ± 10%), ความสมบูรณ์แบบของกรอง (ผ่านการตรวจสอบการรั่วไหลจากการสแกน) และระดับเสียง (ควร ≤ 65dB)
DCC:ตรวจสอบความแม่นยําของการปรับระดับการไหลของน้ํา (± 5%) และประสิทธิภาพการแลกเปลี่ยนความร้อนของโค้ล
การเปิดใช้งานสายเชื่อมต่อ
การจําลองสภาพการทํางานที่รุนแรง (เช่น อุณหภูมิสูงและความชื้นสูงในช่วงฤดูร้อน การทํางานของอุปกรณ์ด้วยภาระเต็ม) เพื่อทดสอบและปรับผลการควบคุมของระบบต่ออุณหภูมิความชื้นความสะอาดและความดัน
ใช้อุปกรณ์ความแม่นยํา เช่น เครื่องนับอนุภาค (ขนาดอนุภาคที่สามารถตรวจสอบได้อย่างน้อย 01μm) และเครื่องบันทึกข้อมูลอุณหภูมิและความชื้น (ระยะเวลาในการเก็บตัวอย่าง 10s) เพื่อบันทึกข้อมูลจากจุดติดตามมากกว่า 50 แห่งในห้องสะอาด;
ปรับปรุงปริมาตร PID ให้ดีที่สุด (เช่นสัมประสานส่วน Kp, Ti integral time) และปรับปริมาตรปริมาณอากาศและปริมาตรการไหลของน้ําของ MAU, FFU และ DCC เพื่อให้แน่ใจว่าการปรับอุณหภูมิเกิน ≤ 0.3°C และเวลาฟื้นฟูความชื้น ≤5 นาที.
การปรับปรุงอย่างต่อเนื่อง
สร้างรุ่นการบริโภคพลังงานโดยใช้ข้อมูลการดําเนินงาน โดยปรับจํานวน FFU ที่ใช้งานได้อย่างไดนามิก (สามารถปิด 20-30% ในสภาพที่ไม่เต็มอัตรา)
การเปลี่ยนกรองบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบดบด
สรุป: เทคโนโลยีส่งเสริมการผลิตที่สะอาด
เทคโนโลยีควบคุมของระบบ MAU + FFU + DCC เป็นการสนับสนุนหลักสําหรับห้องสะอาดที่ทันสมัยในการเปลี่ยนจาก "การดําเนินงานตามความถูกต้อง" ไปสู่ "การบริหารจัดการที่ผ่องแท้"ผ่านการควบคุมอุณหภูมิหลายมิติ, ความชื้น ความสะอาดและความดัน รวมไปถึงการส่งเสริมด้านลึกของเทคโนโลยีที่ฉลาดระบบสามารถให้สิ่งแวดล้อมที่สะอาดที่มั่นคงและน่าเชื่อถือได้ สําหรับกิจกรรมการผลิตและการวิจัยวิทยาศาสตร์ระดับสูง.
ในฐานะผู้ให้บริการที่เชี่ยวชาญในเทคโนโลยีห้องสะอาด เรามักมุ่งมั่นใน "ความแม่นยําของพารามิเตอร์ ประสิทธิภาพการใช้งานพลังงาน และความฉลาดในการบริหาร"การให้บริการลูกค้าด้วยการแก้ไขกระบวนการครบวงจร จากการออกแบบระบบและการเลือกอุปกรณ์หากคุณพบกับปัญหาทางเทคนิค หรือมีความต้องการในการควบคุมสิ่งแวดล้อมห้องสะอาดโปรดติดต่อเราด้วยความยินดี เราจะใช้ประสบการณ์ทางวิชาชีพของเรา เพื่อช่วยให้กิจกรรมการผลิตและวิจัยวิทยาศาสตร์ของคุณ.