กรณี บริษัท ล่าสุดเกี่ยวกับ Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. การรับรอง

ในอุตสาหกรรมระดับไฮเอนด์ เช่น การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ชีวการแพทย์ และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่มีความแม่นยำ ความเสถียรด้านสิ่งแวดล้อมในห้องสะอาดจะกำหนดผลผลิตของผลิตภัณฑ์ ความสอดคล้องของกระบวนการ และความน่าเชื่อถือของการวิจัยโดยตรง

เพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนดการควบคุมที่เข้มงวดยิ่งขึ้นMAU + FFU + DCC (ชุดเติมอากาศ + ชุดกรองพัดลม + ชุดคอยล์แห้ง)สถาปัตยกรรมได้กลายเป็นแนวทางหลักสำหรับห้องคลีนรูมสมัยใหม่ ด้วยการบำบัดอากาศแบบหลายชั้นและการประสานงานที่ชาญฉลาด ระบบนี้จึงสามารถควบคุมได้อย่างแม่นยำอุณหภูมิ ความชื้น ความสะอาด และความดันพร้อมทั้งปรับปรุงประสิทธิภาพการใช้พลังงานและความยืดหยุ่นในการดำเนินงานอย่างมีนัยสำคัญ บทความนี้จะอธิบายอย่างเป็นระบบเกี่ยวกับเทคโนโลยีการควบคุมหลักที่อยู่เบื้องหลังระบบ MAU + FFU + DCC และแสดงให้เห็นว่าการประสานงานหลายมิติสร้างสภาพแวดล้อมห้องปลอดเชื้อที่มีเสถียรภาพและประสิทธิภาพสูงได้อย่างไร

ระบบ MAU + FFU + DCC ใช้กลยุทธ์การบำบัดอากาศแบบลำดับชั้นโดยที่แต่ละระบบย่อยทำหน้าที่เฉพาะ:

• การควบคุมอุณหภูมิและความชื้นเบื้องต้น
• การกรองแบบหลายขั้นตอน G4 + F8
• การจ่ายอากาศภายนอกแบบปรับอากาศที่มีความเสถียร

• การกรอง HEPA หรือ ULPA
• การจ่ายลมแบบทิศทางเดียว
• รองรับสภาพแวดล้อม ISO Class 5 ถึง ISO Class 1

• การปรับอุณหภูมิในท้องถิ่น
• การชดเชยโหลดความร้อนของอุปกรณ์อย่างรวดเร็ว
• รับประกันการกระจายอุณหภูมิห้องที่สม่ำเสมอ

กันนี้.“การประมวลผลล่วงหน้า → การทำให้บริสุทธิ์ → การควบคุมอย่างละเอียด”สถาปัตยกรรมให้ความแม่นยำ ความยืดหยุ่น และประสิทธิภาพการใช้พลังงานมากกว่าระบบ HVAC แบบรวมศูนย์แบบดั้งเดิม

ความผันผวนของอุณหภูมิถือเป็นความเสี่ยงที่สำคัญในการผลิตที่มีความแม่นยำ ในการพิมพ์หินเซมิคอนดักเตอร์ ตัวอย่างเช่น การเบี่ยงเบนของเพียง0.1°ซอาจส่งผลต่อการจัดรูปแบบได้

ระบบ MAU + FFU + DCC ควบคุมอุณหภูมิได้หลายระดับ:

MAU – กฎระเบียบหลัก

• การควบคุม PID แบบปรับได้ของคอยล์ทำความร้อนและความเย็น
• ความคงตัวของอุณหภูมิอากาศบริสุทธิ์ภายใน±0.5°ซ
• การตอบสนองแบบไดนามิกต่อการเปลี่ยนแปลงโหลด

FFU - การเพิ่มประสิทธิภาพการไหลของอากาศ

• เค้าโครงเมทริกซ์ที่สม่ำเสมอ
• ความเร็วใบหน้าโดยทั่วไป:0.3–0.5 ม./วินาที
• ลดการแบ่งชั้นความร้อนและฮอตสปอตในพื้นที่

DCC – การชดเชยความร้อนแบบเรียลไทม์

• กำหนดเป้าหมายความร้อนจากเครื่องมือพิมพ์หิน เครื่องปฏิกรณ์ชีวภาพ และอุปกรณ์แกะสลัก
• ปรับการไหลของน้ำเย็นได้ทันที
• รักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิห้องภายใน±0.2°ซ

กรณีอ้างอิง
ประสบความสำเร็จในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขนาด 12 นิ้ว±0.1°ซความเสถียรของห้องหลังจากใช้การควบคุม MAU – DCC แบบประสานงาน ซึ่งช่วยเพิ่มผลผลิตการพิมพ์หินโดยประมาณ3%-

ความชื้นส่งผลโดยตรงต่อการปล่อยประจุไฟฟ้าสถิต การกัดกร่อน การเจริญเติบโตของจุลินทรีย์ และความเสถียรของกระบวนการ

MAU - การปรับความชื้นหลัก

• เครื่องทำความชื้นแบบไอน้ำหรืออิเล็กโทรด
• การควบแน่นหรือการลดความชื้นแบบหมุน
• ควบคุมความแม่นยำได้ถึง±2% ความชื้นสัมพัทธ์

ตัวอย่าง:โดยทั่วไปแล้ว เวิร์คช็อปการทำแห้งแบบเยือกแข็งจำเป็นต้องมีความชื้นสัมพัทธ์ 30–40%เพื่อป้องกันการดูดซึมความชื้น

FFU – การกระจายเครื่องแบบ

• กำจัดโซนนิ่งและมุมตาย
• ป้องกันการสะสมความชื้นสูงในท้องถิ่น

การประสานงาน MAU + DCC

• MAU ควบคุมความชื้นสัมพัทธ์
• DCC ปรับอุณหภูมิคอยล์
• รักษาอุณหภูมิพื้นผิวคอยล์ไว้เหนือจุดน้ำค้าง 1–2°Cเพื่อหลีกเลี่ยงการควบแน่น

ความสะอาดยังคงเป็นตัวบ่งชี้ประสิทธิภาพหลักของห้องคลีนรูมใดๆ

MAU การกรองล่วงหน้า

• ตัวกรองหลัก G4
• F8 ตัวกรองประสิทธิภาพปานกลาง
• ขจัดอนุภาคขนาดใหญ่และปกป้องอายุการใช้งาน FFU

การกรองเทอร์มินัล FFU

• HEPA: ≥99.97% @ 0.3 ไมโครเมตร
• ULPA: ≥99.999% @ 0.12 ไมโครเมตร
• รองรับ ISO Class 5 และสูงกว่า

องค์กรการไหลของอากาศ

• การไหลทิศทางเดียวในแนวตั้ง
• ความคุ้มครอง FFU:60–100%
• สร้างเอฟเฟกต์ลูกสูบที่มั่นคง ผลักสิ่งปนเปื้อนไปทางตะแกรงลมกลับ

การอ้างอิงประสิทธิภาพ
ที่0.45 ม./วินาทีความเร็วการไหลของอากาศ ความเข้มข้นของอนุภาค ≥0.5 μm สามารถลดลงได้
<35 อนุภาค/ft³ (ISO คลาส 5)-

แรงดันบวกช่วยให้แน่ใจว่าพื้นที่สะอาดยังคงได้รับการปกป้องจากการปนเปื้อนภายนอก

ระบบควบคุมปริมาณอากาศบริสุทธิ์ (MAU)

• เซ็นเซอร์วัดความแตกต่างจะตรวจสอบความดันห้อง
• ความแตกต่างของแรงดันโดยทั่วไป:10–30 พ่อ

การแบ่งเขตแบบลำดับชั้น

• ระหว่างพื้นที่ ISO Class 5 และ ISO Class 7
• การไล่ระดับความดัน:5–10 พ่อ

การป้องกันเหตุฉุกเฉิน

• สัญญาณเตือนอัตโนมัติกระตุ้นเมื่อแรงดันตก
• พัดลมสำรองเปิดใช้งานทันที
• ป้องกันการปนเปื้อนในสภาวะที่ไม่ปกติ

ระบบ MAU + FFU + DCC สมัยใหม่ผสานรวมระบบอัตโนมัติอัจฉริยะเพื่อความแม่นยำและประสิทธิภาพ

• การตรวจสอบพารามิเตอร์มากกว่า 30 รายการแบบเรียลไทม์
• การวิเคราะห์แนวโน้มและการจัดเก็บข้อมูลในอดีต
• การแสดงภาพระบบแบบรวมศูนย์

เมื่อเครื่องมือรับภาระสูงเริ่มทำงาน ระบบจะ:

• เพิ่มความจุคอยล์เย็น
• เพิ่มเอาท์พุต DCC
• คืนความมั่นคงทางสิ่งแวดล้อมภายใน10 วินาที

การตรวจสอบอย่างต่อเนื่องของ:

• กระแสไฟของมอเตอร์ FFU
• แรงดันตกคร่อมตัวกรอง
• ประสิทธิภาพของคอยล์ DCC

เปิดใช้งานการตรวจจับตั้งแต่เนิ่นๆ ของ:

• อายุของมอเตอร์
• กรองการอุดตัน
• ความต้านทานการไหลของอากาศผิดปกติ

การเพิ่มประสิทธิภาพที่ขับเคลื่อนด้วย AI จะควบคุม:

• ปริมาณการดำเนินงาน FFU
• อัตราส่วนอากาศบริสุทธิ์
• การจับคู่โหลดอุณหภูมิและความชื้น

ส่งผลให้ประหยัดพลังงาน 20–30%โดยเฉพาะอย่างยิ่งในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ขนาดใหญ่

• มอ:การทดสอบอินเวอร์เตอร์ ความต้านทานของตัวกรอง การตอบสนองของ T/H
• เอฟเอฟยู:ความสม่ำเสมอของการไหลของอากาศ (± 10%), การทดสอบการรั่วของ HEPA, เสียงรบกวน ≤65 dB
• ดีซีซี:ความแม่นยำในการไหลของน้ำ (±5%) การตรวจสอบการแลกเปลี่ยนความร้อน

• จำลองสภาวะสุดขั้ว
• เครื่องนับอนุภาคความเที่ยงตรงสูง (0.1 μm)
• จุดตรวจสอบมากกว่า 50 จุดพร้อมการบันทึก 10 วินาที

• การควบคุม FFU แบบแปรผันระหว่างการทำงานของโหลดบางส่วน
• รอบการเปลี่ยนตัวกรองโดยทั่วไป:
  • ประถมศึกษา: 1–3 เดือน
  • ปานกลาง: 6–12 เดือน
  • HEPA: 2-3 ปี

ที่มอ + FFU + DCCระบบห้องสะอาดแสดงถึงการเปลี่ยนแปลงจากการปฏิบัติตามข้อกำหนดขั้นพื้นฐานไปสู่การควบคุมสิ่งแวดล้อมแบบลีนที่ชาญฉลาด

ด้วยการประสานงานการจัดการอุณหภูมิ ความชื้น ความสะอาด และความดัน—สนับสนุนโดยระบบอัตโนมัติขั้นสูงและการวิเคราะห์เชิงคาดการณ์—สถาปัตยกรรมนี้มอบความเสถียรและความแม่นยำที่จำเป็นสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เทคโนโลยีชีวภาพ และการใช้งานระดับไฮเอนด์อื่นๆ

ในฐานะผู้ให้บริการโซลูชั่นวิศวกรรมห้องสะอาดมืออาชีพ เรานำเสนอ:

• การออกแบบระบบ
• การเลือกอุปกรณ์
• บูรณาการการควบคุมอัจฉริยะ
• การว่าจ้างและการเพิ่มประสิทธิภาพ
• การสนับสนุนตลอดอายุการใช้งาน

หากคุณกำลังวางแผนหรืออัพเกรดห้องคลีนรูมที่มีความแม่นยำสูง ทีมวิศวกรของเราพร้อมที่จะช่วยให้คุณบรรลุเป้าหมายประสิทธิภาพการควบคุมสิ่งแวดล้อมระดับโลก-