การนําเข้าห้องสะอาดครึ่งประสาท

ห้องสะอาดครึ่งประสาทคือสภาพแวดล้อมที่ควบคุมได้ เพื่อลดการปนเปื้อนให้น้อยที่สุด ระหว่างการผลิตไมโครชิป, วงจรอินทิกรีต (ICs) และส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์อื่น ๆแม้แต่อนุภาคจุลินทรีย์ ก็สามารถขัดขวางการผลิตทําให้ห้องสะอาดจําเป็นสําหรับการผลิตผลิตสูง

คุณลักษณะหลักประกอบด้วย:

จํานวนอนุภาคที่ต่ํามาก(ประเภท ISO 1-9)

การควบคุมอุณหภูมิและความชื้นอย่างเข้มงวด(ความละเอียด ± 0,1 °C)

การกรองอากาศแบบพัฒนา(กรอง HEPA/ULPA)

การป้องกันการปล่อยไฟฟ้าสแตตติก (ESD)

สถานที่เหล่านี้ปฏิบัติตามมาตรฐานโลก เช่นISO 14644-1(การจัดอันดับห้องสะอาด) และSEMI S2/S8(แนวทางความปลอดภัยของอุปกรณ์)

มาตรฐานการจัดหมวดห้องสะอาด

ISO 14644-1 ประเภทห้องสะอาด

ห้องทําความสะอาดครึ่งตัวประกอบการโดยทั่วไปทํางานที่คลาส ISO 1-5หมายถึง:

มาตรฐานเฉพาะอุตสาหกรรม

มาตรฐาน SEMI: กําหนดความเหมาะสมของอุปกรณ์ (ตัวอย่างเช่น SEMI F47 สําหรับความต้านทานความตึงเครียด)

Fed 209E (มรดก): มาตรฐานสหรัฐอเมริกาที่เก่ากว่าถูกแทนที่ด้วย ISO 14644

ลักษณะการออกแบบห้องสะอาดที่สําคัญ

1การควบคุมการไหลของอากาศ

การไหลเวียนในทิศทางเดียว (ลามินาร์): กระแสอากาศตั้ง / ทิศฟ้า เพื่อล้างอนุภาค

ระบบวงจรใหม่: 90% + การใช้ลมใหม่ด้วยการกรอง HEPA

2หลักเกณฑ์พัสดุและบุคลากร

ความ จําเป็น ใน การ แต่งชุด:

ชั้น 1-3: ชุดกระต่ายพร้อมหน้ากาก

ประเภท 5-6: มีการครอบคลุมที่จํากัด (หมวก, ถุงมือ)

ข้อ จํากัด ทาง วัตถุ: โลหะ/พลาสติกที่ไม่หลั่ง (เช่น เหล็กไร้ขัดเหล็ก, PTFE)

3การลดความสั่นสะเทือนและ EMI

ความมั่นคงของพื้น: แผ่นแยก (1-2 ไมเคอมความสั่นสะเทือนIEST-RP-CC012)

การป้องกัน EMI: ป้องกันการแทรกแซงกับเครื่องมือการวัดที่ nhạy cảm

เหตุ ใด ห้อง สะอาด จึง สําคัญ ใน การ ผลิต อะไหล่

การป้องกันความบกพร่อง

กระดูกละ 20μm สามารถทําลายทรานซิสเตอร์ 5nm ห้องสะอาดลด:

การสูญเสียผลผลิต(สูงถึง 50% ในสภาพแวดล้อมที่ไม่ควบคุม)

การติดเชื้อข้าม(ตัวอย่างเช่น โดปิ้งทองแดงในซิลิคอน)

ประสิทธิภาพการใช้จ่าย

การลดเวลาหยุดทํางาน: สารปนเปื้อนน้อยกว่า หมายถึงการผลิตไวเฟอร์น้อยกว่า

การปฏิบัติตามกฎหมาย: พบกันIEEE 1680สําหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่ยั่งยืน

สรุป

ห้องสะอาดครึ่งตัวนําคือสภาพแวดล้อมที่ออกแบบด้วยความแม่นยํา ที่สําคัญสําหรับการผลิตชิปที่น่าเชื่อถือISO, SEMI และ IESTขนาดนาโนเมตร โดยมีความบกพร่องน้อยที่สุดเทคโนโลยีห้องสะอาดยังคงพัฒนาต่อไป ด้วยการติดตามอนุภาคที่ขับเคลื่อนโดย AI และห้องสะอาดแบบโมดูล.

สําหรับผู้ผลิต การลงทุนในห้องสะอาดที่ได้รับการรับรอง ไม่ได้เป็นตัวเลือก มันเป็นกระดูกสันหลังของนวัตกรรมครึ่งตัวนํา