2025-05-28
Aห้องสะอาดครึ่งประสาทเป็นสภาพแวดล้อมที่ควบคุมได้อย่างสูง ที่ถูกออกแบบมาเพื่อลดการปนเปื้อนให้น้อยที่สุด ระหว่างการผลิตไมโครชิป, วงจรบูรณาการ (ICs) และส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์อื่นๆเพราะแม้แต่อนุภาคจุลินทรีย์ ก็สามารถทําให้เกิดความบกพร่อง หรือสูญเสียผลผลิต, ห้องสะอาดเป็นสิ่งจําเป็นสําหรับการผลิตครึ่งตัวนําความละเอียดสูง
ความถี่ของอนุภาคที่ต่ํามาก(ประเภท ISO 1?? 9)
การควบคุมอุณหภูมิและความชื้นอย่างแม่นยํา(สูงสุด ± 0,1 °C)
ระบบกรองอากาศที่ทันสมัย(กรอง HEPA และ ULPA)
การป้องกันการปล่อยไฟฟ้าสแตตติก (ESD)
อุปกรณ์เหล่านี้ตรงกับมาตรฐานสากล เช่นISO 14644-1สําหรับการจัดอันดับห้องสะอาด และSEMI S2 / SEMI S8สําหรับความปลอดภัยและ ergonomics ของอุปกรณ์
การผลิตครึ่งตัวประกอบโดยทั่วไปต้องประเภท ISO 1?? 5สภาพแวดล้อม ขึ้นอยู่กับความรู้สึกของกระบวนการ
| คลาส ISO | ปริมาณอนุภาคสูงสุด (≥ 0.1 μm/m3) | การใช้งานทั่วไป |
|---|---|---|
| ISO 1 | 10 | ลิทอเกรฟี EUV ที่ทันสมัย |
| ISO 3 | 1,000 | การผลิตแผ่น NAND 3 มิติ |
| ISO 5 | 100,000 | กระบวนการครึ่งประสาทที่ผ่านมา |
มาตรฐาน SEMI: กําหนดความเหมาะสมของอุปกรณ์และความน่าเชื่อถือในการใช้งาน (เช่นSEMI F47สําหรับความต้านทานความตึงต่ํา)
มาตรฐานกลาง 209E ( Legacy): มาตรฐานห้องสะอาดอดีตของสหรัฐอเมริกา ปัจจุบันถูกแทนที่โดย ISO 14644
การไหลของอากาศในทิศทางเดียว (ลามินาร์): รูปแบบการไหลของอากาศแบบตั้งหรือแนวราบที่ถูกล้างอนุภาคออกไปจากโซนกระบวนการที่สําคัญอย่างต่อเนื่อง
ระบบการหมุนเวียนใหม่ที่มีประสิทธิภาพสูง: ปกติจะนําอากาศมากกว่า 90% มาใช้ใหม่ผ่านการกรอง HEPA/ULPA หลายขั้นตอน
ความ จําเป็น ใน การ แต่งชุด
ระดับ ISO 1 หมวด 3: ชุดกระต่ายเต็มแบบ พร้อมหน้ากาก, แว่นตา และถุงมือ
ประเภท ISO 5?? 6: เสื้อผ้าส่วนหนึ่ง เช่น หมวกและถุงมือ
ข้อ จํากัด ทาง วัตถุ
การใช้วัสดุที่ไม่หลั่ง และปล่อยก๊าซน้อยเช่น เหล็กไร้ขัดเหล็ก อลูมิเนียม anodized และ PTFE
การหลีกเลี่ยงพลาสติกหรือผ้าที่สร้างอนุภาค
ความมั่นคงของพื้น: โครงสร้างแผ่นโดดเดี่ยวที่มีขีดจํากัดการสั่นต่ํามากถึง1 ∆2 μm, ต่อIEST-RP-CC012
การป้องกันการแทรกแซงทางแม่เหล็กไฟฟ้า (EMI): ป้องกันอุปกรณ์การฉลากและการวัดความละเอียดจากเสียงเสียงไฟฟ้าภายนอก
เพียงคนเดียวอนุภาค 20 μmสามารถทําลายโครงสร้างทรานซิสเตอร์ 5nmห้องสะอาดลดการ:
การสูญเสียผลผลิต (ที่สามารถเกิน50%ในสภาพแวดล้อมที่ควบคุมไม่ได้)
ความเสี่ยงจากการติดเชื้อข้าม เช่น การกระจายยอนโลหะโดยไม่ตั้งใจ
การ ลด เวลา หยุด ทํา งาน: สภาพแวดล้อมที่สะอาดขึ้น ทําให้เกิดความบกพร่องของแผ่นขีดขวางและรอบรอบการทํางานน้อยลง
การปฏิบัติตามกฎหมาย: รองรับมาตรฐาน เช่นIEEE 1680สําหรับการผลิตอิเล็กทรอนิกส์ที่ยั่งยืนและมีความรับผิดชอบ
ห้องทําความสะอาดครึ่งประสาทคือสภาพแวดล้อมที่ออกแบบด้วยความแม่นยําซึ่งเป็นกระดูกสันหลังของการผลิตชิปที่ทันสมัยมาตรฐาน ISO, SEMI และ IEST, ห้องสะอาดสามารถผลิตขนาดนาโนเมตร ด้วยความบกพร่องอย่างน้อยและผลิตสูงสุด
ในขณะที่กณิตศาสตร์ครึ่งตัวนํายังคงลดลง เทคโนโลยีห้องสะอาดพัฒนาอย่างรวดเร็วการติดตามอนุภาคที่ใช้ AI,การควบคุมสิ่งแวดล้อมที่ฉลาดและระบบห้องสะอาดแบบโมดูล.
สําหรับผู้ผลิตครึ่งตัวนํา การลงทุนในด้านวิศวกรรมห้องสะอาดที่ได้รับการรับรอง ไม่ใช่เรื่องที่ต้องการ แต่เป็นสิ่งจําเป็นในการรักษานวัตกรรม คุณภาพและความสามารถในการแข่งขันทั่วโลก