logo
หน้าแรก >

กรณี บริษัท ล่าสุดเกี่ยวกับ Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. การรับรอง

ห้องสะอาดครึ่งขนส่ง คือ อะไร?

2025-05-28

กรณี บริษัท ล่าสุดเกี่ยวกับ ห้องสะอาดครึ่งขนส่ง คือ อะไร?

Aห้องสะอาดครึ่งประสาทเป็นสภาพแวดล้อมที่ควบคุมได้อย่างสูง ที่ถูกออกแบบมาเพื่อลดการปนเปื้อนให้น้อยที่สุด ระหว่างการผลิตไมโครชิป, วงจรบูรณาการ (ICs) และส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์อื่นๆเพราะแม้แต่อนุภาคจุลินทรีย์ ก็สามารถทําให้เกิดความบกพร่อง หรือสูญเสียผลผลิต, ห้องสะอาดเป็นสิ่งจําเป็นสําหรับการผลิตครึ่งตัวนําความละเอียดสูง

คุณลักษณะสําคัญของห้องสะอาดครึ่งนํา
  • ความถี่ของอนุภาคที่ต่ํามาก(ประเภท ISO 1?? 9)

  • การควบคุมอุณหภูมิและความชื้นอย่างแม่นยํา(สูงสุด ± 0,1 °C)

  • ระบบกรองอากาศที่ทันสมัย(กรอง HEPA และ ULPA)

  • การป้องกันการปล่อยไฟฟ้าสแตตติก (ESD)

อุปกรณ์เหล่านี้ตรงกับมาตรฐานสากล เช่นISO 14644-1สําหรับการจัดอันดับห้องสะอาด และSEMI S2 / SEMI S8สําหรับความปลอดภัยและ ergonomics ของอุปกรณ์

มาตรฐานการจัดหมวดห้องสะอาด
ISO 14644-1 ประเภทห้องสะอาด

การผลิตครึ่งตัวประกอบโดยทั่วไปต้องประเภท ISO 1?? 5สภาพแวดล้อม ขึ้นอยู่กับความรู้สึกของกระบวนการ

คลาส ISO ปริมาณอนุภาคสูงสุด (≥ 0.1 μm/m3) การใช้งานทั่วไป
ISO 1 10 ลิทอเกรฟี EUV ที่ทันสมัย
ISO 3 1,000 การผลิตแผ่น NAND 3 มิติ
ISO 5 100,000 กระบวนการครึ่งประสาทที่ผ่านมา
มาตรฐานเฉพาะอุตสาหกรรม
  • มาตรฐาน SEMI: กําหนดความเหมาะสมของอุปกรณ์และความน่าเชื่อถือในการใช้งาน (เช่นSEMI F47สําหรับความต้านทานความตึงต่ํา)

  • มาตรฐานกลาง 209E ( Legacy): มาตรฐานห้องสะอาดอดีตของสหรัฐอเมริกา ปัจจุบันถูกแทนที่โดย ISO 14644

ลักษณะการออกแบบห้องสะอาดที่สําคัญ
การควบคุมการไหลของอากาศ
  • การไหลของอากาศในทิศทางเดียว (ลามินาร์): รูปแบบการไหลของอากาศแบบตั้งหรือแนวราบที่ถูกล้างอนุภาคออกไปจากโซนกระบวนการที่สําคัญอย่างต่อเนื่อง

  • ระบบการหมุนเวียนใหม่ที่มีประสิทธิภาพสูง: ปกติจะนําอากาศมากกว่า 90% มาใช้ใหม่ผ่านการกรอง HEPA/ULPA หลายขั้นตอน

โปรต็อกอลด้านวัสดุและบุคลากร

ความ จําเป็น ใน การ แต่งชุด

  • ระดับ ISO 1 หมวด 3: ชุดกระต่ายเต็มแบบ พร้อมหน้ากาก, แว่นตา และถุงมือ

  • ประเภท ISO 5?? 6: เสื้อผ้าส่วนหนึ่ง เช่น หมวกและถุงมือ

ข้อ จํากัด ทาง วัตถุ

  • การใช้วัสดุที่ไม่หลั่ง และปล่อยก๊าซน้อยเช่น เหล็กไร้ขัดเหล็ก อลูมิเนียม anodized และ PTFE

  • การหลีกเลี่ยงพลาสติกหรือผ้าที่สร้างอนุภาค

การลดความสั่นสะเทือนและ EMI
  • ความมั่นคงของพื้น: โครงสร้างแผ่นโดดเดี่ยวที่มีขีดจํากัดการสั่นต่ํามากถึง1 ∆2 μm, ต่อIEST-RP-CC012

  • การป้องกันการแทรกแซงทางแม่เหล็กไฟฟ้า (EMI): ป้องกันอุปกรณ์การฉลากและการวัดความละเอียดจากเสียงเสียงไฟฟ้าภายนอก

เหตุ ใด ห้อง สะอาด จึง สําคัญ ใน การ ผลิต อะไหล่
การป้องกันความบกพร่อง

เพียงคนเดียวอนุภาค 20 μmสามารถทําลายโครงสร้างทรานซิสเตอร์ 5nmห้องสะอาดลดการ:

  • การสูญเสียผลผลิต (ที่สามารถเกิน50%ในสภาพแวดล้อมที่ควบคุมไม่ได้)

  • ความเสี่ยงจากการติดเชื้อข้าม เช่น การกระจายยอนโลหะโดยไม่ตั้งใจ

ประสิทธิภาพในเรื่องค่าใช้จ่ายและการปฏิบัติตาม
  • การ ลด เวลา หยุด ทํา งาน: สภาพแวดล้อมที่สะอาดขึ้น ทําให้เกิดความบกพร่องของแผ่นขีดขวางและรอบรอบการทํางานน้อยลง

  • การปฏิบัติตามกฎหมาย: รองรับมาตรฐาน เช่นIEEE 1680สําหรับการผลิตอิเล็กทรอนิกส์ที่ยั่งยืนและมีความรับผิดชอบ

สรุป

ห้องทําความสะอาดครึ่งประสาทคือสภาพแวดล้อมที่ออกแบบด้วยความแม่นยําซึ่งเป็นกระดูกสันหลังของการผลิตชิปที่ทันสมัยมาตรฐาน ISO, SEMI และ IEST, ห้องสะอาดสามารถผลิตขนาดนาโนเมตร ด้วยความบกพร่องอย่างน้อยและผลิตสูงสุด

ในขณะที่กณิตศาสตร์ครึ่งตัวนํายังคงลดลง เทคโนโลยีห้องสะอาดพัฒนาอย่างรวดเร็วการติดตามอนุภาคที่ใช้ AI,การควบคุมสิ่งแวดล้อมที่ฉลาดและระบบห้องสะอาดแบบโมดูล.

สําหรับผู้ผลิตครึ่งตัวนํา การลงทุนในด้านวิศวกรรมห้องสะอาดที่ได้รับการรับรอง ไม่ใช่เรื่องที่ต้องการ แต่เป็นสิ่งจําเป็นในการรักษานวัตกรรม คุณภาพและความสามารถในการแข่งขันทั่วโลก