โซลูชันคลีนรูมสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์

ความต้องการและมาตรฐานเฉพาะ

• ความสะอาดอย่างมาก: ปกครองโดยเกรด ISO 5-7 (ประเภท 100-10,000) โดยมีพื้นที่บรรจุที่มีความทันสมัยที่ต้องการ ISO 4 (ประเภท 10) เพื่อควบคุมอนุภาค ≥0.1μm

• การควบคุมหลายมิติ: ปกครองอุณหภูมิ (20-24°C±0.1°C), ความชื้น (40-50%±2%), การสั่นสะเทือน (≤50μm/s) และไฟฟ้าสแตติก (≤100V) ในเวลาเดียวกัน

• มาตรฐานสากล: ต้องสอดคล้องกับ SEMI S2, ISO 14644, และ GMP สําหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์, ด้วยความต้องการการแยกกระบวนการที่เข้มงวดระหว่างขั้นตอนการผลิตที่แตกต่างกัน

การแก้ไขหลัก

ระบบล้างอากาศ

• ระดับระดับการกรอง: เครื่องกรองล่วงหน้า (G4) + เครื่องกรองประสิทธิภาพกลาง (F9) + เครื่องกรองประสิทธิภาพต่ํา (H13) + เครื่องกรอง ULPA ปลาย (ประสิทธิภาพ 99.999% สําหรับอนุภาค ≥ 0.12μm)

• การออกแบบการไหลของอากาศ: การครอบคลุมแบบเต็มรูปแบบ การไหลผ่านแบบเดียว (0.45m/s±20%) ในพื้นที่หลัก โดยมีอัตราการเปลี่ยนอากาศสูงถึง 500 ครั้ง/ชั่วโมง

• การควบคุมความดัน: ความแตกต่างความดันในแนวชัน (≥ 5Pa ระหว่างโซนที่อยู่ใกล้เคียงกัน) เพื่อป้องกันการติดเชื้อข้าม

มาตรการควบคุมการติดเชื้อ

• การจัดการวัสดุ: ล็อคอากาศสําหรับวัสดุที่เข้า, ขั้นตอนการถอดบรรจุและทําความสะอาดที่พิเศษ, และน้ําบริสุทธิ์สุด (18.2MΩ·cm) ที่มี TOC ≤10ppb

• การบํารุงผิว: ผนังเหล็กไร้ขัดท่อ (304/316L) พื้น PVC ที่ไม่มีรอยต่อ และสารประปาไร้ซิลิโคน

• การควบคุมทางเคมี: ระบบออกอากาศท้องถิ่นสําหรับกระบวนการถักด้วยประสิทธิภาพการกําจัดก๊าซกรด ≥99%

กลยุทธ์การดําเนินงานแบบลีน

• การติดตามแบบฉลาด: เครื่องนับอนุภาคในเวลาจริง เครื่องตรวจจับอุณหภูมิ / ความชื้น และระบบควบคุมกลางที่ใช้ IoT

• การปรับปรุงพลังงาน: อุปกรณ์ฟื้นฟูความร้อน (ประหยัดพลังงาน ≥ 30%), แฟนความถี่แปร และแสงห้องสะอาด LED

• ระเบียบรักษาความปลอดภัย: การทดสอบความสมบูรณ์แบบของกรอง HEPA/ULPA รายไตรมาส การตรวจสอบความเร็วการไหลของอากาศรายเดือน และการรับรองผลการทํางานรายปีอย่างครบถ้วน

แนวโน้มในอนาคต

• การลดขนาด: การพัฒนาไปยัง ISO 3 (ประเภท 1) ห้องสะอาดเพื่อปรับตัวกับ 3nm และหน่วยกระบวนการขนาดเล็ก

• นวัตกรรมสีเขียว: การนํามาใช้วัสดุที่มี VOC น้อยและการบูรณาการพลังงานที่สามารถปรับปรุงได้

• การเปลี่ยนแปลงดิจิตอล: การบํารุงรักษาแบบคาดการณ์โดย AI และแฝดดิจิตอลสําหรับการใช้งานแบบแท้

ห้องทําความสะอาดครึ่งประสาทต้องการความสมดุลของความสะอาดสุดๆ ความมั่นคงของกระบวนการ และประสิทธิภาพในการทํางานและระบบจัดการที่ฉลาดหน่วยงานสําคัญเหล่านี้สนับสนุนการผลิตส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ที่มีประสิทธิภาพสูง